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中圖儀器SuperViewW白光干涉儀三維表面測量系統(tǒng)讓輪廓測量價格更為實惠。應用領域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、臺階高度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
它采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高。除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),保護儀器,降低人為操作風險。
產品功能
1)樣件測量能力:單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量;
2)單區(qū)域自動測量:單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時,可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能;
3)多區(qū)域自動測量:可設置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位,一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能;
4)自動拼接測量;支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,配合影像導航功能,可自定義測量區(qū)域,支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量;
5)編程測量功能:支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,可預先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,結合自動單測量功能,實現(xiàn)一鍵測量;
6)數(shù)據(jù)處理功能:提供位置調整、去噪、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
7)數(shù)據(jù)分析功能:提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。
8)批量分析功能:可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析;
9)數(shù)據(jù)報表導出:支持word、excel、pdf格式的數(shù)據(jù)報表導出功能,支持圖像、數(shù)值結果的導出;
10)故障排查功能:配置診斷模塊,可保存掃描過程中的干涉條紋圖像;
11)便捷操作功能:設備配備操縱桿,支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調節(jié)、光源亮度調節(jié)、急停等;
12)環(huán)境噪聲評價:具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能,定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,為設備調試和故障排查提供定量依據(jù);
13)氣浮隔振功能:采用氣浮式隔振底座,可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼?,確保測量數(shù)據(jù)的高精度;
14)光源安全功能:光源設置無人值守下的自動熄燈功能,當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,防止光源高亮過熱損壞,并有效延長光源使用壽命;
15)鏡頭安全功能:雙重防撞保護,軟件ZSTOP防撞保護,設置后即以當前位置為位移下限位,不再下移且伴有報警聲;設備配備壓力傳感器,并在鏡頭處進行了彈簧結構設計,確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,進入急停狀態(tài),大幅減小碰撞沖擊力,有效保護鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風險。
應用領域
對各種產品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,SuperViewW白光干涉儀三維表面測量系統(tǒng)的復合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,只需要確定起點和終點,即可自動掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。
部分技術指標
型號 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |
干涉物鏡 | 標配:10× 選配:2.5×;5×;20×;50×;100× | |
光學ZOOM | 標配:0.5× 選配:0.375×;0.75×;1× | |
物鏡塔臺 | 標配:3孔手動 選配:5孔電動 | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移動范圍 | 140×100㎜ | |
負載 | 10kg | |
控制方式 | 電動 | |
Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 電動 | |
Z向掃描范圍 | 10 ㎜ | |
主機尺寸(長×寬×高) | 700×606×920㎜ |
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